Тетраэтилортосиликат , также известный как тетраэтоксисилан ( ТЭОС ), представляет собой органическое соединение, обозначаемое формулой Si(OC2H5)4. Эта бесцветная жидкость подвергается разложению при контакте с водой. TEOS представляет собой этиловый эфир ортокремниевой кислоты Si(OH)4 и широко известен как преобладающий алкоксид кремния.