Тетраэтилортосиликат, также известный как тетраэтоксисилан (TEOS), представляет собой органическое соединение, обозначаемое формулой Si(OC2H5)4. Эта бесцветная жидкость разлагается под воздействием воды. ТЭОС представляет собой этиловый эфир ортокремниевой кислоты Si(OH)4 и широко известен как преобладающий алкоксид кремния.